ウェハー供給テーピング装置

Taping Machine

高精度・高速搬送技術(テーピング装置)

業界初!!超音波ゲージング
超音波ゲージング:動画

業界最速レベルのタクトタイム
80ms(45,000UPH)
チップサイズ 0603 「参考」

 

製品に優しい
ダメージ軽減。高速ピックアップ方式
超音波ゲージング

 

装置見える化
調整状態を数値で見える化

テープへのチップ挿入にもう悩まない!
新発想の高精度テーピングユニット開発!
このような事例にお困りの方へ
  • テープ挿入ミスが多い
  • 品種切替に時間がかかる
  • 挿入精度を上げたいが費用がかさむ

詳細スペック(0603/1005 T0.05mm実績有り
装置サイズW1300 × D1100 × H2150(2385)mm
タクト45,000UPH(80ms)=750UPM
対象チップサイズ0.2〜1.0mm 厚み:0.05mm以上
ピックアップ静荷0.4N以下
ピックアップインパクト荷重0.6N以下
非接触ゲージング
(0603実績)
業界初 超音波ゲージング方式
位置決め精度 XY:±15μm以下 θ:±1度以下
高速位置決め時間(〜10ms以内)
超音波ゲージング交換時間(〜5分以内)
供給/収納IN:ウエハ(6/8インチ:切替時間10分以内)
OUT:テープ(8/12mm幅)
付加機能6面外観検査
各種ゲージング方式(画像・メカ)対応
超音波ゲージング方式対応
2連テーピング対応
エンボスキャリアテープのポケット位置決め

業界初!!エンボスキャリアテープのポケット部をストッパーにて位置決めを行う方法

メリット
  • 精度の高い位置決め
  • 短い処理時間でポケットを位置決め
  • 製造方法、製造メーカーが違うキャリアテープでも誤差の少ない位置決め精度
超音波チップ挿入

特許申請済!正常に挿入が出来なかったチップを超音波振動で挿入する

メリット
  • 装置内での高精度な位置決めが不要
  • テープの製造メーカー、製造ロットに左右されない
  • タクトを落とさずに済む
  • キャリアテープの吸着孔の有無に左右されない
  • 品種切替が短時間で済む