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生産体制

Capability & Capacity

大型クリーンルーム

Large Cleanroom

大型クリーンルーム
半導体やFPD・電子部品等の生産設備をクリーンな環境下で組立を行います。
徹底管理された大型クリーンルームは3室あり、広いスペースにて大型装置の量産も可能です。
大型吊り上げ設備(2.8tの天井クレーン)を有したクリーン度の高い装置製作環境、専用クリーンブースにてクラス1000/0.5μ~クラス10,000にも対応可能です。

組立A室
  • クラス10,000/0.5μm
    ISO14644-1(2015)/Ciass7
  • 2,000㎡(56m × 36m)
  • 2.8tクレーン × 2基
組立B室
  • クラス10,000/0.5μm
    ISO14644-1(2015)/Ciass7
  • 2,000㎡(80m × 24m)
組立C室
  • クラス10,000
  • 1,000㎡(34m × 28m)
  • 2.8tクレーン × 1基
クリーンブース

クリーンブースも完備。クラス1000/0.5μも対応可能
クリーンブース内での超高精密な組立エリアでの装置組立も行っています。
(評価機などでのデーター解析対応も行っています)

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