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ウエハ供給テーピング装置
Taping Machine
高精度・高速搬送技術
ウエハ供給テーピング装置 NEXUS
タクトタイム
80ms(45000UPH)0603 「参考」
製品に対する低衝撃化
ダメージ軽減。高速ピックアップ方式
搬送コレット高さ自動ティーチング
加工点:最大11Pos
検査(外観・特性)・3軸補正・サブテーブル・テーピング他
詳細スペック(0603/1005 T0.05mm実績有り
装置サイズ
W1300 × D1100 × H2150(2385)mm
タクト
45,000UPH(80ms)=750UPM
対象チップサイズ
0.2〜1.0mm 厚み:0.05mm以上
ピックアップ静荷
0.4N以下
ピックアップインパクト荷重
0.6N以下
非接触ゲージング
(0603実績)
業界初 超音波ゲージング方式
位置決め精度 XY:±15μm以下 θ:±1度以下
高速位置決め時間(〜10ms以内)
超音波ゲージング交換時間(〜5分以内)
供給/収納
IN:ウエハ(6/8インチ:切替時間10分以内)
OUT:テープ(8/12mm幅)
付加機能
6面外観検査
各種ゲージング方式(画像・メカ)対応
超音波ゲージング方式対応
2連テーピング対応
エンボスキャリアテープのポケット位置決め
業界初!!
エンボスキャリアテープのポケット部をストッパーにて位置決めを行う方法
メリット
精度の高い位置決め
短い処理時間でポケットを位置決め
製造方法、製造メーカーが違うキャリアテープでも誤差の少ない位置決め精度
超音波チップ挿入
特許申請済!
正常に挿入が出来なかったチップを超音波振動で挿入する
メリット
装置内での高精度な位置決めが不要
テープの製造メーカー、製造ロットに左右されない
タクトを落とさずに済む
キャリアテープの吸着孔の有無に左右されない
品種切替が短時間で済む
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