ウエハ供給テーピング装置

Taping Machine

高精度・高速搬送技術
ウエハ供給テーピング装置　ＮＥＸＵＳ

タクトタイム
80ms（45000UPH）0603　「参考」

製品に対する低衝撃化
ダメージ軽減。高速ピックアップ方式

搬送コレット高さ自動ティーチング

加工点：最大11Pos 　
検査（外観・特性）・3軸補正・サブテーブル・テーピング他

詳細スペック（0603/1005 T0.05mm実績有り
装置サイズW1300 × D1100 × H2150（2385）mm
タクト45,000UPH（80ms）＝750UPM
対象チップサイズ0.2〜1.0mm　厚み：0.05mm以上
ピックアップ静荷0.4N以下
ピックアップインパクト荷重0.6N以下
非接触ゲージング
（0603実績）		業界初 超音波ゲージング方式
位置決め精度　XY：±15μm以下　θ：±1度以下
高速位置決め時間（〜10ms以内）
超音波ゲージング交換時間（〜5分以内）
供給／収納IN：ウエハ（6/8インチ：切替時間10分以内）
OUT：テープ（8/12mm幅）
付加機能6面外観検査
各種ゲージング方式（画像・メカ）対応
超音波ゲージング方式対応
2連テーピング対応
エンボスキャリアテープのポケット位置決め

業界初！！エンボスキャリアテープのポケット部をストッパーにて位置決めを行う方法

メリット
  • 精度の高い位置決め
  • 短い処理時間でポケットを位置決め
  • 製造方法、製造メーカーが違うキャリアテープでも誤差の少ない位置決め精度
超音波チップ挿入

特許申請済！正常に挿入が出来なかったチップを超音波振動で挿入する

メリット
  • 装置内での高精度な位置決めが不要
  • テープの製造メーカー、製造ロットに左右されない
  • タクトを落とさずに済む
  • キャリアテープの吸着孔の有無に左右されない
  • 品種切替が短時間で済む
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